是选用微电子和微机械加工技能制造出来的新式传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技能附加值高，适于批量化出产、易于集成和完成智能化等特色。下面小编给我们介绍一些MEMS传感器带分类：
除了上面介绍的几种典型MEMS传感器外，还有许许多多的MEMS传感器，如用于微观判别的MEMS触觉传感器、MEMS生物传感器、MEMS图画传感器等。在不同环境中，MEMS传感器的技能使用也是不一样的。
我国在?MEMS?传感器范畴的研讨较晚，但渐渐的变成了不可或缺的力气，我国的部分专利权的立异主体协同格式前提下，加大政府科技资金投入不仅能消解技能立异开展中的资金阻滞，又有助于带领企业或单位技能立异认识，来提高我国立异驱动功率，促进经济快速而稳健的开展。
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